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ASSEMBLY SERVICES

BOWL

SPIN CHUCK 고속 회전시, 노즐에서 분사된 Chemical이 외부로의 유출을 방지하고, 잔여 슬러리들이 지정된 배출구로 유입시키는 제어 모듈

CHAMBER내 핵심 모듈로써, 고온 및 내화확성 요건을 요구하는 재질로 제작하며, 통상적으로 PTFE 계열 불소수지로 제작

고객사의 주요 Chemical 및 사용설비 환경에 따라 맞춤제작 가능

BELLOWS

반도체 세정장비내 BOWL 및 핵심모듈 구동장치에 사용되는 부품

구동제어 모듈의 특성상, 미세한 수치의 구동이 요구되는 구동모듈에 필수적으로 사용되고 있으며, Chemical 환경에 따라 다르나, 일반적으로 PTFE 재질 불소수지로 제작

고객사의 주요 Chemical 및 사용설비 환경에 따라 맞춤제작 가능

WAFER CARRIER

반도체 라인내, SILICON WAFER를 이송하는 PART로, 200M, 300M 전용 CARRIER 제작이 가능하며, 재질은 PEEK, PTFE등이 주로 사용됨

BUBBLER

반도체 라인내 클리닝 설비에 적용되는 PART로 Dipping Type 세정공정에서 WAFER 단면에 N2를 분사시켜 Particle를 제거하는 모듈로 PTFE 계열 불소수지로 제작 고객사 주요 Chemical 및 사용설비 환경에 따라 맞춤제작 가능