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CHEMICAL TANK

Chemical Tank (Bath)

Chamber내 각종 케미컬을 보관하기 위한 목적으로 사용되는 수조모듈 장치

TANK는 반도체 세정장비를 구성하기 위하여 필수적인 구성 모듈로 사용되고 있으며, 설비 환경에 따라, 재질별 tank 제작 가능

㈜일진저스템은 소재성형에서 제작까지 in-house 제작으로 고객 요구에 적합한 제작 시스템을 구축하고 있으며, 고객 사양에 따라, 일체형 tank 제작이 가능합니다.

RECOMMEND USING CONDITION

[1]. 사용 용도
1) TEFLON TANK : WET STATION, SLURRY 공급장치, CCSS 공급장치
2) TEFLON BATH : WET STATION
[2]. 제작 가능 최대 SIZE :최대 약액 담수 용량 240L범위에서 제작가능
1) 680*680*590(H), 790*580*590(H), 700*640*590(H)

(주)일진저스템은 고객중심의 경영으로 OEM, ODM, REFAIR등 수행할 수 있는 다양한 솔루션으로 제공하고 있습니다.