메뉴 바로가기
주메뉴 바로가기
컨텐츠 바로가기

AUTO DAMPER

AUTO DAMPER

세정장비(chamber)내 케미컬 분사로 발생된 흄(hum)을 제거하기 위한 목적으로 제작되는 자동배기 모듈 장치

Chamber 및 Bath의 최적조건을 유지

주변환경 변화 [Main배기 Hunting] 에 기인한 설비 에러를 감소 → 설비 가동률을 향상

정확도 ±1% FS의 정밀 압력 센서가 미세한 압력 변화에도 반응하여 사용자가 설정한 값으로 조절이 가능

정밀 가공을 통한 Auto Damper 제작에 필요한 부품 공급

Recommend Using Condition

System concept

(주)일진저스템은 고객중심의 경영으로 OEM, ODM, REFAIR등 수행할 수 있는 다양한 솔루션으로 제공하고 있습니다.